Elektrothermomechanische Modellierung eines V-Strahl-Aktuators
Die elektrostatische Betätigung, die üblicherweise in MEMS verwendet wird, basiert auf den elektrostatischen Feldern und den Kräften, die sie auf die Strukturen ausüben. Bei elektromechanischen Aktoren wie HF-Mikroschaltern, Kammantrieben und Drucksensoren ist die durch die elektrostatischen Kräfte verursachte Verformung der Elektroden das Hauptanliegen.
Elektrostrukturanalyse eines MEMS Comb Drive Actuators
English (CA)
Deutsch
日本語