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Elektro-strukturell

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Elektrothermomechanische Modellierung eines V-Strahl-Aktuators

Die elektrostatische Betätigung, die üblicherweise in MEMS verwendet wird, basiert auf den elektrostatischen Feldern und den Kräften, die sie auf die Strukturen ausüben. Bei elektromechanischen Aktoren wie HF-Mikroschaltern, Kammantrieben und Drucksensoren ist die durch die elektrostatischen Kräfte verursachte Verformung der Elektroden das Hauptanliegen.

Elektrostrukturanalyse eines MEMS Comb Drive Actuators